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      薄膜懸浮光學(xué)元件及相關(guān)方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2750634

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      相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求2008年1月16日提交的第61/021,338號(hào)美國臨時(shí)專利申請(qǐng)的優(yōu)先 權(quán),并將其通過引用合并于本文。背景技術(shù)制造晶片級(jí)小型相機(jī)系統(tǒng)時(shí),例如,多個(gè)光學(xué)元件被制造為基底(例如8英寸或12 英寸的基底)面上的陣列。這樣光學(xué)元件的示例包括折射光學(xué)元件、衍射光學(xué)元件、反射元 件、梯度折射率(GRIN)元件、亞波長光學(xué)結(jié)構(gòu)、抗反射敷層和過濾器。這些光學(xué)元件直接形 成在基底上,或者可選地從底板基底復(fù)制,在該底板基底上已經(jīng)形成了限定多個(gè)光學(xué)...
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