技術(shù)編號：2750822
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在對多個(gè)分開的物體執(zhí)行聚焦伺服控制的同時(shí)用激光束照射各個(gè) 物體的激光曝光方法，光致抗蝕劑層加工方法，以及用于制造圖案成形品(patterned casting)的方法。背景技術(shù)通常，已知有一種技術(shù)，通過用激光束照射其上涂敷有光致抗蝕劑層的工件并 隨后通過顯影工藝移除照射部分，以在工件(物體)的表面上形成凹凸。如果在加工正 在旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))的工件時(shí)執(zhí)行此技術(shù)，則對旋轉(zhuǎn)工件更接近其旋轉(zhuǎn)中心的部分進(jìn)行加工將 花費(fèi)更多的時(shí)間，因?yàn)樾D(zhuǎn)工件的轉(zhuǎn)速朝向旋轉(zhuǎn)中心...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。