技術(shù)編號(hào)：2751236
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包含酚及含有叔酯脂環(huán)烴基的不穩(wěn)定感光酸酯的重復(fù)單元的新聚合物。本發(fā)明的聚合物作為化學(xué)增強(qiáng)正性作用抗蝕劑的組份特別有用。光致抗蝕劑是用于將圖像傳遞到基片上的感光膠膜。一層光致抗蝕劑涂層形成在基片上及然后光致抗蝕劑層通過光掩模對(duì)激發(fā)輻射光源曝光。光掩模具有對(duì)激發(fā)輻射的不透光區(qū)和激發(fā)輻射可穿透的其它區(qū)。對(duì)激發(fā)輻射的曝光提供一種光致抗蝕劑涂層的光誘導(dǎo)化學(xué)傳遞以由此將光掩模的圖像傳遞到光致抗蝕劑涂覆的基片上。接著曝光，光致抗蝕劑被顯影提供一種允許基片有選擇...
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