技術(shù)編號(hào)：2753675
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)、微納加工及生物傳感領(lǐng)域，特別是涉及一種同側(cè) 輸入、輸出的微環(huán)諧振器陣列及其封裝方法。背景技術(shù)生物傳感器是一種新型的具有廣泛應(yīng)用前景的傳感結(jié)構(gòu)?？蓮V泛應(yīng)用于生物醫(yī) 學(xué)、健康醫(yī)療、醫(yī)療藥品、環(huán)境監(jiān)測、國防安全和軍事等。與傳統(tǒng)的電學(xué)傳感器相比，生物傳 感器具有不受電磁干擾、遠(yuǎn)程傳感、實(shí)時(shí)探測、并能用單一設(shè)備實(shí)現(xiàn)多種探測等優(yōu)點(diǎn)。微環(huán) 生物傳感器是基于光的耦合理論的光傳感器件，它具有體積小、靈敏度高、與CMOS工藝相 兼容、便于批量生產(chǎn)等...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。