技術(shù)編號：2756383
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種測量運(yùn)動臺的位置的測量裝置，尤其涉及用于測量光刻機(jī)中的工件臺的垂向位置的測量裝置。背景技術(shù)光學(xué)位置測量的技術(shù)被越來越廣泛應(yīng)用于各種精加工設(shè)備中。相對于其它測量方法，光學(xué)測量有著非接觸、高精度等諸多優(yōu)點(diǎn)。作為精加工設(shè)備中的明珠的光刻機(jī)，更是把光學(xué)測量作為其所有位置測量的核心工具。用于承放硅片和掩模的工件臺，其水平向精度的要求要高于垂向精度的要求。隨著工藝要求的日益提升，近年來也逐步要求工件臺的垂向位置能夠快速而精確地得到測量。為此，美國專利US...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。