技術(shù)編號(hào)：2767902
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明一般涉及物質(zhì)組合物。更具體而言，本發(fā)明涉及這樣的物質(zhì)組合物，其被用于使用常規(guī)的接觸式曝光工具(contact exposure tool)或其他簡(jiǎn)單設(shè)備，在納米光刻術(shù)和微光刻術(shù)中制造納米結(jié)構(gòu)和微結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)納米圖案成形技術(shù)(Nanopatteming)是用于制造納米結(jié)構(gòu)的納米技術(shù)研究的基本部分。對(duì)于這些具有重要的實(shí)際價(jià)值的納米結(jié)構(gòu)和納米圖案成形技術(shù)而言，低成本和高通量納米圖案成形技術(shù)是不可缺少的。在許多目的在于降低成本和增加通量的新出現(xiàn)的技術(shù)中，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。