技術編號：2772705
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種光刻投射裝置，包括用于提供輻射投射光束的輻射系統(tǒng)；用于支撐構(gòu)圖部件的支撐結(jié)構(gòu)，所述構(gòu)圖部件用于根據(jù)理想的圖案對投射光束進行構(gòu)圖；用于保持基底的基底臺；用于將帶圖案的光束投射到基底的靶部上的投射系統(tǒng)。用于向所述投射系統(tǒng)的最終元件和所述基底之間的空間提供浸沒液體的液體供給系統(tǒng)。背景技術 這里使用的術語“構(gòu)圖部件”應廣義地解釋為能夠給入射的輻射光束賦予帶圖案截面的部件，其中所述圖案與要在基底的靶部上形成的圖案一致；本文中也使用術語“光閥”。一般地，...
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