技術(shù)編號：2773415
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)裝置。具體地說，其涉及微機(jī)電系統(tǒng)裝置中的薄膜結(jié)構(gòu)以及涉及此類薄膜結(jié)構(gòu)的機(jī)電和光學(xué)響應(yīng)。背景技術(shù) 當(dāng)今，可使用微制作技術(shù)來制作很多種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置。這些MEMS裝置的實(shí)例包括馬達(dá)、泵、閥、開關(guān)、傳感器、像素等。這些MEMS裝置通常利用不同領(lǐng)域(例如，光學(xué)、電學(xué)和機(jī)械領(lǐng)域)的原理和現(xiàn)象。此類原理和現(xiàn)象雖然似乎難以在宏觀世界中得以利用，但可在MEMS裝置的微觀世界中變得極為有用，在MEMS裝置的微觀世界中此類現(xiàn)象被放大。舉例來說，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。