技術(shù)編號：2778937
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種制備硅光波導材料的方法，尤其是涉及。背景技術(shù) 光波導是光信號傳輸?shù)囊环N主要載體，它在集成光學領(lǐng)域中有重要的應用價值。常見的光波導材料有二氧化硅、鈮酸鋰、III-V族化合物、聚合物、絕緣體上硅(SOI)材料等。其中，硅光波導材料SOI因為具有利于集成的多功能性而逐漸成為極具潛力的一種材料，但它不適合下層工藝，不能在頂層硅的下方制作電極或進行其它工藝加工。而通過鍵合工藝得到的玻璃基硅光波導材料就具有光限制好和可以同時制作上、下電極等優(yōu)點。申請?zhí)枮?..
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