技術(shù)編號(hào)：2778955
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于MEMS芯片技術(shù)的2×2光開關(guān)及其光路切換方法，屬于光開關(guān)。背景技術(shù) 微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanical System，MEMS)中，基于MEMS芯片技術(shù)的光開關(guān)較為重要的光無(wú)源器件，在光通訊網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中可對(duì)光信號(hào)進(jìn)行通斷的切換。光開關(guān)有著廣闊的市場(chǎng)前景，是最具發(fā)展?jié)摿Φ墓鉄o(wú)源器件之一?，F(xiàn)有的光開關(guān)大多是2×2的光開關(guān)，而且都是基于反射式的，即通過(guò)將移動(dòng)反射鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)光路的切換。當(dāng)光開關(guān)開啟時(shí)，如圖1所示，兩光纖準(zhǔn)直器的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。