技術(shù)編號：2781461
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光子學(xué)，特別是一種硅基并聯(lián)MOS電容結(jié)構(gòu)高速電光調(diào)制器及制作方法。背景技術(shù) 近年來，隨著硅基材料在光子學(xué)領(lǐng)域不斷取得的突破性進展，人們不得不對硅材料在光電集成領(lǐng)域的發(fā)展前景加以重新認識。硅光子器件正向體積小、速度快和穩(wěn)定性高的方向發(fā)展。目前的硅光調(diào)制器主要包括熱光調(diào)制、電光調(diào)制以及光光調(diào)制。熱光調(diào)制器性能穩(wěn)定，但是器件速度往往較低。光光調(diào)制器多處于研究開發(fā)階段，距離實際應(yīng)用還有一段距離。電光調(diào)制最有希望率先實現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用，但其性能還不能滿足未來光...
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