技術(shù)編號：2790997
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)，特別是涉及一種半導(dǎo)體光刻裝置的投影光刻物鏡。背景技術(shù)目前在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，微米級分辨率的投影光學(xué)系統(tǒng)需求日益增加。此類光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)常采用低數(shù)值孔徑的I倍或接近I倍放大倍率設(shè)計。中國專利申請2010101309921公開了一種I倍放大倍率的投影光學(xué)系統(tǒng)。該專利使用gh線波段，為18片透鏡結(jié)構(gòu)，包含4片非球面，加工難度及成本都較高。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提出一種投影光刻物鏡，能校正畸變、場曲、像散、軸向色差、倍率色差，并實現(xiàn)物像空間的雙遠(yuǎn)心。使...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。