技術編號：2798033
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明通常涉及通過補償方法獲得改進的圖像的技術。本發(fā)明尤其涉及一種在一個空間光調制器(SLM)中補償缺陷像素的方法，這種方法用于光學平版印刷術。本發(fā)明還涉及一種用于以圖案裝飾一個工件的裝置，這一裝置包括這樣一種方法和一種用于檢測缺陷像素的方法。背景技術 平版印刷制造可用于集成電路、掩模、光柵、平板顯示器、微機械或微光學器件、以及包裝設備，例如引線框和MCM。平版印刷制造可能涉及一種把一個主模從一個計算機控制的光柵映像到一個工件上的光學系統(tǒng)。一個合適的工件可...
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