技術編號：2798203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種包括多個反射鏡的成像光學系統(tǒng)，其經(jīng)由成像光的光束路徑將物平面中的物場成像到像平面中的像場，所述成像光學系統(tǒng)包括光瞳遮擋(obscuration)。此外，本發(fā)明涉及一種包括此類型的成像光學系統(tǒng)的用于微光刻的投射曝光設備、利用此類型的投射曝光設備制造微結構組件的方法、以及利用此方法制造的微結構組件。背景技術US 2008/0170310A1、US 2006/023^67Α1 和 US 6，750，948B2 公開了開頭提及的類型的成像光學系統(tǒng)。U...
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