技術(shù)編號：2799104
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種成膜設(shè)備，更特別地涉及一種使用基板傳送用的基板托盤進(jìn)行預(yù)定處理的成膜設(shè)備(例如，真空處理設(shè)備)。背景技術(shù)在諸如液晶顯示器和等離子體顯示器等各種顯示元件的制造中，需要對被處理物 (以下稱為“基板”)進(jìn)行諸如成膜等處理。例如，在液晶顯示器中，需要進(jìn)行在玻璃基板的板面(除了端面之外的面)上形成透明電極或類似物的處理。為了如專利文獻(xiàn)1所提出的那樣在預(yù)定氣氛下處理基板，在該處理中使用的作為真空處理設(shè)備的成膜設(shè)備包括處理室，該處理室被構(gòu)造成將被抽成真空或...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。