技術編號:2802394
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種可用于激光材料加工的掃描設備的F- Θ物鏡。背景技術一種用于將入射的激光束聚焦到一個平面的像場中的F-θ物鏡,該激光束在一個相對于該F-θ物鏡的光軸夾角為+/-Θ的掃描角度區(qū)域掃描,其中,在這個掃描角度區(qū)域里,掃描角度與在該像場中激光束入射點到光軸距離的比率遵循一個線性函數(shù)。也就是說,以一個恒定角速度進行掃描的激光束在該像場中形成了一個以恒定速度移動的焦點。在此,這個焦點的尺寸在該像場中的每個位置都應是恒定不變的。這個焦點的尺寸是由激光材...
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