技術編號：2803611
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于極紫外光源領域，具體涉及一種激光等離子體極紫外光源的液滴靶產生方法及其裝置，本發(fā)明將金屬絲在激光的作用下熔化形成極紫外輻射中液滴靶材。本發(fā)明主要用于產生均勻穩(wěn)定的錫或其他金屬液滴靶材。背景技術隨著光刻現(xiàn)況特征尺寸的不斷縮小，光刻技術面臨的挑戰(zhàn)不斷擴大，波長13.5nm的極端紫外光刻(EUVL)技術目 前被國際上廣泛認為是下一代光刻(NGL)最有前途的方法。獲得波長13.5nm極紫外光刻光源的方法主要有三種1、電子同步輻射光源(ECR) ;2、放電...
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