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      激光束引導(dǎo)的液滴靶控制系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2803879

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      本發(fā)明涉及極紫外光刻機(jī)等離子體光源,特別是一種適用于極紫外光刻機(jī)等離子體光源的激光束引導(dǎo)的液滴靶控制系統(tǒng)。背景技術(shù)光刻機(jī)是制造大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備。光刻機(jī)利用紫外線(如193nm波長(zhǎng)激光),按照電路圖有選擇性地去除半導(dǎo)體晶元表面的保護(hù)膜。光刻后的半導(dǎo)體晶元,經(jīng)液體腐蝕等處理后,可形成集成電路。集成電路的精細(xì)程度取決于紫外線聚焦光斑尺寸。根據(jù)衍射理論,波長(zhǎng)更短的極紫外光線可獲得更小的聚焦光斑。極紫外光刻機(jī)使用13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光線,可應(yīng)用于20nm...
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