技術(shù)編號：2808337
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及激光光束波面整形，特別是一種用于實現(xiàn)激光束 在遠場衍射光斑主斑能量提升和尺度壓縮的部分環(huán)帶光子篩及其制作方 法。該部分環(huán)帶光子篩可用于光束整形、微電子無掩?？涛g、強激光能量 集中和其它需要能量聚焦到中心光斑的各種儀器中。背景技術(shù)通過各種途徑對于激光衍射斑主斑進行能量提升和尺度壓縮，并且抑 制旁斑的能量是實用的課題。在光束整形、微電子無掩模刻蝕、強激光能 量集中和其它需要能量聚焦到中心光斑的各種儀器中均需要極小的主斑 寬度和極高的主斑能量。位相調(diào)制...
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