技術(shù)編號：2811933
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于微電子學與聲表面波器件中的微納加工，特別涉 及一種，即具有納米尺度叉 指換能器電極的制作方法。背景技術(shù)根據(jù)聲表面波傳輸性質(zhì)，對于常見的壓電介質(zhì)，當工作中心頻率達到1GHz時，叉指電極將小于1微米。隨著移動通信系統(tǒng)的工作頻率向2GHz 以上攀升，以及微傳感技術(shù)的發(fā)展，聲表面波器件正向高頻率、高性能的 方向發(fā)展，這就對聲表面波器件的制作提出挑戰(zhàn)，要求叉指電極寬度和間 距必須越來越小，精度越來越高，甚至達到百納米左右才能滿足移動通信 市場和傳感技術(shù)快速...
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