技術(shù)編號(hào)：2813643
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種微型驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的微納米控制裝置，更特殊地，涉及一 種微型光熱驅(qū)動(dòng)的控制裝置，用于微納米的驅(qū)動(dòng)控制。 背景技術(shù)近年來(lái)，科學(xué)技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要趨勢(shì)是朝快速度、大容量和微型化方向飛速邁進(jìn)，其中尤以微電子技術(shù)、微光學(xué)技術(shù)、微納米技術(shù)和MEMS技術(shù)等的 發(fā)展為主要代表。在許多特殊領(lǐng)域，如MEMS系統(tǒng)及其他微小型系統(tǒng)中，需要 采用特種性能的驅(qū)動(dòng)器作為動(dòng)力源和運(yùn)動(dòng)源，如在光學(xué)與精密機(jī)械系統(tǒng)中用于 元器件的精確驅(qū)動(dòng)和定位的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，要求速度高、響應(yīng)快、盡可...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。