技術(shù)編號(hào)：2817611
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微影技術(shù)(photolithography)領(lǐng)域，涉及一種定義防護(hù)環(huán)(guardring)的光罩及其方法，以增加防護(hù)環(huán)的微影工藝容許度(process window)。背景技術(shù) 在集成電路(IC)的存儲(chǔ)裝置中，例如一動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)，通常包含一存儲(chǔ)陣列區(qū)及一外圍邏輯電路區(qū)，且在邏輯電路區(qū)的周圍設(shè)置有一防護(hù)環(huán)。此防護(hù)環(huán)是用以防止靜電或其他電路噪音(noise)，以提高存儲(chǔ)裝置的可靠度(reliability)。傳統(tǒng)上，防護(hù)環(huán)的制作是先...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。