技術(shù)編號:28262
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本實用新型公開了一種掃描探針顯微鏡的探針與樣品趨近裝置,包括底座,底座上設(shè)有樣品臺,樣品臺上端均勻設(shè)有若干固定架,固定架上端設(shè)有掃描探頭,掃描探頭內(nèi)部設(shè)有與探針相匹配的探針架,樣品臺設(shè)置于探針架的前端,樣品臺內(nèi)部設(shè)有可進行三維移動的樣品移動裝置,樣品移動裝置內(nèi)設(shè)有掃描器,掃描器設(shè)置連接有位于樣品移動裝置內(nèi)的Z向移動導軌,樣品移動裝置設(shè)有控制裝置。本實用新型的有益效果為結(jié)構(gòu)簡單,容易操作,通過將掃描探頭與樣品臺的結(jié)構(gòu)一體化,使得兩者之間結(jié)構(gòu)回路縮短,有效降低了探針與樣品之間的機械噪音,提高了儀器的精度和抗干擾...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。