技術(shù)編號(hào)：2891048
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)電池的制作工具，尤其涉及一種在連續(xù)式微波增強(qiáng)等離子化 學(xué)氣相沉積設(shè)備中所使用的載片舟上用于支撐硅片的工裝。背景技術(shù)太陽(yáng)電池作為新興的清潔可再生能源，因具能直接將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換為電能，且具有 壽命長(zhǎng)、維護(hù)簡(jiǎn)單、可實(shí)現(xiàn)無人值守等優(yōu)點(diǎn)而備受矚目。太陽(yáng)能電源系統(tǒng)取得了越來越廣泛 的應(yīng)用。PECVD(增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積)工藝是晶體硅太陽(yáng)電池生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵 工序，在PECVD工藝中，需要使用一種工裝將硅片騰空支撐起，以便硅片的朝下面被沉積上 一層...
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