技術編號：2891920
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是涉及一種準分子燈，其具備由二氧化硅玻璃構(gòu)成的放電 容器，在曝露于該放電容器中的表面上形成有紫外線反射膜。背景技術近年來，開發(fā)了例如通過將波長200nm以下的真空紫外光照射在 由金屬、玻璃及其它材料構(gòu)成的被處理體上，而在該真空紫外光及由 此所生成的臭氧的作用下來進行被處理體的表面處理、例如清洗處理、 成膜處理、去灰處理的技術，而將這些技術實用化。作為照射真空紫外光的裝置，將例如通過準分子放電形成準分子 分子、并利用從該準分子分子所放射的光的準分子燈作...
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