技術(shù)編號:2898723
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及檢測來自外部的入射光的光電倍增管。 背景技術(shù)一直以來,利用細微加工技術(shù)的小型光電倍增管的開發(fā)一直在進行。例如將光電面、倍增極(dynode)以及陽極部配置于透光性絕緣基板上的平面型的光電倍增管已為人所熟知(參照下述專利文獻1)。根據(jù)這樣的構(gòu)造,能夠?qū)崿F(xiàn)微弱光檢測,并且還能夠達成裝置的小型化。專利文獻1 美國專利第5,264, 693號說明書然而,在如上述那樣的以往的光電倍增管中,為了在絕緣基板上將不同電位的構(gòu)造物接近地配置,在小型化的情況下會造成...
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