技術(shù)編號：2924604
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置[0001 ] 本實(shí)用新型涉及儀器儀表(分析儀器)，具體地說是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置。背景技術(shù)[0002]電子顯微鏡成像需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，以保證電子束在其路徑上不會被吸走或者產(chǎn)生偏向，而電子顯微鏡的高真空環(huán)境是依靠真空泵獲得的。分子泵作為應(yīng)用于電子顯微鏡領(lǐng)域常用的一種真空泵，其通過利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為設(shè)置在其前級的前級泵抽走。高速旋轉(zhuǎn)的...
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