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      長(zhǎng)使用壽命的高壓氣體放電燈電極的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2965828

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      本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的高壓氣體放電燈電極。尤其重要的是汞短弧燈,特別是半導(dǎo)體工業(yè)用的汞短弧燈。這類燈經(jīng)常用于晶片或其它襯底暴光的光刻過(guò)程。另一個(gè)最佳應(yīng)用領(lǐng)域是惰性氣體高壓氣體放電燈,特別是高壓氣體放電氙燈。也可以用于金屬鹵化物燈。從公開的歐洲專利EP-A791 950已經(jīng)知道一種高壓氣體放電燈的陽(yáng)極在其尖端外側(cè)配備有一層由細(xì)顆粒鎢形成的燒結(jié)層。因而陽(yáng)極的表面積增大了。這樣能降低工作時(shí)的陽(yáng)極溫度,并且能減緩玻殼變黑。這種層的輻射系數(shù)大約為0.5...
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      • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用