技術(shù)編號(hào)：2966117
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù) 帶電粒子束裝置(CPBD)常需要對(duì)于微米級(jí)和納米級(jí)物體進(jìn)行檢驗(yàn)和實(shí)施操作。通常，CPBD使用帶電粒子束輻射研究的樣品，或是研究的聚焦光斑，其中CPED的波長(zhǎng)比用于光學(xué)顯微鏡中的波長(zhǎng)小很多?，F(xiàn)代的CPBD能夠以高達(dá)大約一百萬(wàn)倍的放大率以次納米級(jí)分辨率(如，低至大約0.1nm的分辨率)來觀察原子水平的細(xì)節(jié)?？梢灶愃茟?yīng)用的CPBD顯微鏡和其它顯微鏡包括掃描電子顯微鏡(SEM)、聚焦離子束(FIB)顯微鏡和透射電子顯微鏡(TEM)及其它。掃描電子顯微鏡(...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。