技術編號:3007748
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種,特別地,涉及一種照 射激光光束對被加工物成批地進行多次加工的激光加工裝置及激光加工 方法。背景技術照射激光光束對被加工物進行穿孔加工時,對被加工物進行多次激光 的脈沖照射,或通過固定時間照射對被加工物進行照射。在此過程中,已公知一種使用微透鏡陣列將激光光束分成多支、通過 在被加工面上聚光、對被加工物進行多個穿孔的多個點成批加工(以下稱 為"微透鏡"方式)。眾所周知,按上述微透鏡方式進行加工時,通常在初期及經過一段時 間時,激光光束會變得不均...
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