技術(shù)編號(hào)：3011884
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及通過微細(xì)控制結(jié)晶粒子直徑得到優(yōu)良的機(jī)械特性的硬質(zhì)疊層被膜、形成在切削工具或汽車方面滑動(dòng)部件等的表面上的具有耐磨損性的硬質(zhì)疊層被膜，及耐磨損性或耐氧化性優(yōu)良的硬質(zhì)疊層被膜。 此外，本發(fā)明涉及分別具有電弧蒸發(fā)源和濺射蒸發(fā)源的、可成膜具有優(yōu)良特性的硬質(zhì)疊層被膜的復(fù)合成膜裝置。 背景技術(shù) 近年來，對(duì)以超硬合金、金屬陶瓷或高速工具鋼等為基材的切削工具或汽車滑動(dòng)部件等的耐磨損性改進(jìn)的要求高漲，一直在研究這些部件表面上使用的耐磨損性被膜的改進(jìn)。 作為該耐...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。