技術(shù)編號:3030759
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種非晶硅太陽能板激光刻膜機,特別是涉及一種多 通道非晶硅太陽能板激光刻膜機。背景技術(shù)非晶硅太陽能電池生產(chǎn)流程涉及到底層電極、中間光伏效應(yīng)層和 表面歐姆接觸電極層的薄膜沉積以及各層的刻劃。激光刻劃技術(shù)相比 傳統(tǒng)的掩模法具有更高的生產(chǎn)效率以及穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量,已經(jīng)較好地 應(yīng)用于太陽能電池的制造工藝流程中。目前的太陽能電池激光刻劃工藝,采用的是單激光頭單光路進行加工,刻劃速度已經(jīng)從開始的0.5米每秒提高到目前的2.5米每秒, 按照光斑直徑0.05mm來...
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