技術(shù)編號：3047382
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造行業(yè)中的機械加工，尤其涉及一種鎢合金靶材銑 削加工方法。背景技術(shù)真空濺鍍是由電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電 離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片，氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大 量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜，而最終達到對基片表面鍍膜 的目的。在進行真空濺鍍的過程中經(jīng)常會使用到鎢合金靶材。鎢的機械物理性能鎢是一 種難熔金屬，它具有熔點高(達3400°C )、密度大(19. ...
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