技術(shù)編號：3076932
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在此提供靜電夾盤的實(shí)施例。在一些實(shí)施例中，一種用于支撐與保持具有給定寬度的基板的靜電夾盤可包括介電構(gòu)件，具有支撐表面，該支撐表面被配置成支撐具有給定寬度的基板；電極，設(shè)置在該介電構(gòu)件內(nèi)位于該支撐表面下方，并且從該介電構(gòu)件的中心向外延伸至超過該基板的外周邊的區(qū)域，該外周邊由該基板的該給定寬度所界定；RF電源，耦接該電極；以及DC電源，耦接該電極。專利說明靜電夾盤[0001]本發(fā)明的實(shí)施例大體上關(guān)于半導(dǎo)體的處理。背景技術(shù)[0002]發(fā)明人已觀察到，用于在等離子...
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