技術(shù)編號：3178318
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及到對在特定區(qū)域中待要輻照的表面上的束斑進行均化的光束均化器，還涉及到將均化的束斑輻照在待要輻照的表面上的激光輻照裝置。注意，根據(jù)本發(fā)明的半導體器件包括諸如有源矩陣液晶顯示器件和有源矩陣電致發(fā)光顯示器件之類的顯示器件、電光器件、以及諸如采用這種顯示器件或電光器件的電器，本發(fā)明還涉及到半導體器件的制造方法。背景技術(shù) 新近，對于激光退火技術(shù)已經(jīng)廣泛地進行了研究，這種激光退火技術(shù)對形成在玻璃之類的絕緣襯底上的非晶半導體膜或結(jié)晶半導體膜(具有除單晶性之外的...
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