技術(shù)編號(hào)：3249140
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于在濺射靶那種大面積被加工件上，均勻地涂敷低熔點(diǎn)釬焊材料(銦、鉛錫軟釬料、錫鋅軟釬料等)的釬焊材料涂敷方法和裝置的發(fā)明。這種濺射方法采用的原理是在惰性氣體環(huán)境下，成對(duì)設(shè)置有正電極和負(fù)電極組成的靶，在這些基板和靶之間附加高電壓，產(chǎn)生電場(chǎng)，此時(shí)電離的電子和惰性氣體沖擊，形成等離子體，此等離子體中的陽離子沖擊靶(負(fù)電極)表面，激發(fā)出構(gòu)成靶的原子，這種飛出的原子附著在基板表面形成膜。一般濺射靶的結(jié)構(gòu)是把濺射靶用釬焊等材料焊接在用銅等導(dǎo)熱性好的材料制作的支...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。