技術(shù)編號：3249431
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于用于將化學(xué)制品遞送給工具的系統(tǒng)和方法，更 具體地i兌，是關(guān)于利用化學(xué)制品的至少兩個源頭的化學(xué)制品遞送 系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)化學(xué)制品遞送系統(tǒng)被應(yīng)用于多個領(lǐng)域中，舉例來說，在半導(dǎo) 體制藥中，以及化妝品工業(yè)中。半導(dǎo)體制造業(yè)典型地4吏用化學(xué)制 品分配系統(tǒng)將化學(xué)制品遞送《會加工工具。具體地說，泥漿分配系統(tǒng)遞送泥漿用于化學(xué)^L械拋光(CMP)。通常，期待向加工工具 提供有精確流體速度的化學(xué)制品或泥漿。易受輸入壓力的變化影 響的流量計常常被用來將泥漿和化學(xué)制...
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