技術編號：3250003
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及當在基板表面形成薄膜時將基板保持為立起狀態(tài)的基 板保持臺，尤其涉及將在大型液晶顯示裝置等中使用的大型的四邊形 平板狀玻璃基板保持為立起狀態(tài)的基板保持臺。背景技術以往，在制造液晶器件等的制造工藝中，作為用于形成規(guī)定的薄膜的制造裝置，使用成膜裝置。圖5表示成膜裝置的一般的結構。如圖所示，真空容器30通過真空排氣口 31與未圖示的真空泵連 接，通過驅動真空泵使內部成為高真空狀態(tài)。通過氣體導入口32向該 成為高真空狀態(tài)的真空容器30內的內部導入氬氣等放電...
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