技術編號：3250356
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明主要涉及真空鍍膜設備，尤其涉及鍍膜工件轉動架的結構。 背景技術采用真空鍍膜技術是自前制備各種性能薄膜的途徑之一，常規(guī)真空鍍膜設備的工件 轉架僅有公轉，公轉+自轉的功能，為此存在外圍鍍膜不均勻，局部外露面鍍不到或鍍層 不均勻，環(huán)繞型外面體不能一次裝夾完成真空鍍膜發(fā)明內容-本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術的不足之處而提供一種真空鍍膜設備工件三維轉 動機構，可實現(xiàn)工件在真空環(huán)境中.公轉、公轉+旋轉、公轉+自轉、公轉+自轉+旋轉四 種不同狀態(tài)的運動效果，具備靈活...
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