技術編號：3250887
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在工模具表面沉積硬質(zhì)薄膜材料的方法及設備，具體地講是一種。背景技術 與CVD(化學氣象沉積法)和PCVD(等離子體輔助化學氣象沉積法)相比，PVD(物理氣象沉積法)具有沉積溫度低(100-500℃)、處理周期短(4-8h)、薄膜外觀質(zhì)量好等優(yōu)點，在高速鋼刀具表面薄膜制備方面獲得廣泛應用。PVD包括磁控濺射和離子鍍，1963年Mattox首先提出了離子鍍技術，并于1967年取得了專利，其后，各種離子鍍及濺射鍍膜技術相繼出現(xiàn)。首先將PVD技術應用...
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