技術(shù)編號：3253763
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請要求美國臨時申請61/359，592和61/323，037的優(yōu)先權(quán)，每個美國臨時申請通過引用將其全部內(nèi)容結(jié)合在本文中。背景技術(shù)本發(fā)明涉及采用圓柱形陰極的旋轉(zhuǎn)磁控管濺射陰極裝置，以及利用使用射頻發(fā)射的旋轉(zhuǎn)圓柱形磁控管濺射陰極設(shè)備來沉積材料的方法。采用圓柱形陰極的濺射旋轉(zhuǎn)磁控管陰極裝置在本中是已知的。但是，這種裝置適合于具有直流電或低頻到中頻交流電的操作，并且不使用射頻(“RF”)發(fā)射來操作。結(jié)果，這種裝置通常需要金屬摻雜以沉積非金屬材料。本發(fā)明通過提供...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。