技術(shù)編號：3255330
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于一種薄膜沈積設(shè)備腔體冷卻水加熱裝置，具體涉及鍍膜腔體冷卻，以維持真空腔體溫度不致于散熱過多，使內(nèi)部加熱器不斷加熱節(jié)約能源。背景技術(shù)現(xiàn)有濺鍍設(shè)備的鍍膜腔體冷卻皆采取同一溫度的冷卻源來冷卻，但大都忽略真空腔體并非主動發(fā)熱源，若使用同一溫度冷卻會發(fā)生腔體溫度低于室溫，此舉不利于內(nèi)部設(shè)置有加熱裝置的腔體，腔體無形中變成散熱裝置會使加熱源不斷的加熱以達到腔體內(nèi)熱平衡，不僅非常浪費能源同時增加加熱源加熱功率。發(fā)明內(nèi)容綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本發(fā)明的主...
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