技術(shù)編號：3269029
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種硅片載板，主要涉及一種在鍍膜工程中可以改善邊緣色差的娃片載板。背景技術(shù)板式PECVD采用上鍍膜方式時，采用如圖I所示的載板，在載板邊沿容易使氮化硅堆積，導(dǎo)致邊沿色差；尤其是在設(shè)備維護后的運行周期末期，邊沿色差較為嚴重。實用新型內(nèi)容實用新型目的針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題和不足，本實用型新提供一種板式 PECVD鍍膜載板，可以有效改善邊沿色差的問題。技術(shù)方案為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型采用的技術(shù)方案一種板式PECVD鍍膜載板，包括載板本...
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