技術(shù)編號：3278261
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及雙端面磨床金剛石毛刷的修整，具體涉及雙端面磨床金剛石毛刷修整工具。背景技術(shù)通常，單晶硅棒和多晶硅棒在加工時需要用雙端面磨床的金剛石毛刷進(jìn)行拋光，毛刷在加工過程中會有硅粉吸附在上面，傳統(tǒng)方式是使用自來水將毛刷表面硅粉沖洗掉。但實(shí)際上，在加工過程中硅粉會嵌入毛刷中，用自來水難以清除掉，這樣就會造成晶棒表面拋光效果不好，并且嚴(yán)重影響毛刷使用壽命。因此，本領(lǐng)域需要開發(fā)新的毛刷修整方法。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是提供一種新型的毛刷修整工具。本實(shí)用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。