技術(shù)編號：3286388
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于阻擋層的堿性化學機械拋光液，含有研磨顆粒、聚乙烯醇和氧化劑，其中，所述拋光液還含有銅腐蝕抑制劑A和銅腐蝕抑制劑B，其中，所述銅腐蝕抑制劑B既有銅腐蝕抑制作用，也具備絡(luò)合作用。該拋光液可以適度調(diào)節(jié)對銅表面的腐蝕抑制強度，控制銅的拋光速度，同時可以更好地保護、抑制對銅寬線區(qū)和細線區(qū)的腐蝕。專利說明一種堿性化學機械拋光液[0001]本發(fā)明涉及一種化學機械拋光液，更具體地說，涉及一種堿性化學機械拋光液。背景技術(shù)[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展...
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