技術(shù)編號：3292290
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了，通過先將銦、鎵、硒三種原料進行三元混煉，經(jīng)再加工得到銦鎵硒三元合金靶材，然后再與高純銅板綁定得到銅銦鎵硒靶材，高純銅板既作為銅銦鎵硒靶材的原料又作為靶材背板，有效避免了將熔點較高的銅與銦、鎵、硒一起共同熔煉而造成的靶材組分難以控制的問題。在本發(fā)明所得的銅銦鎵硒靶材的應(yīng)用過程中，先通過濺射在襯底上形成銦鎵硒和銅的混合薄膜，再通過退火使得銅擴散進入銦鎵硒中形成銅銦鎵硒薄膜，該應(yīng)用方法簡便，且所得銅銦鎵硒薄膜質(zhì)量高，具有廣闊的應(yīng)用前景。專利說明一種...
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