技術(shù)編號(hào)：3302980
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種真空環(huán)境下的流動(dòng)柔性基板的加熱裝置，包括上加熱板，下加熱板以及電熱絲，所述上加熱板以及所述下加熱板設(shè)置有若干個(gè)真空螺絲孔，所述上加熱板上開有上加熱板電熱絲槽，所述下加熱板開有下加熱板電熱絲槽，所述電熱絲鑲嵌于所述上加熱板電熱絲槽及所述下加熱板電熱絲槽組成的電熱絲安裝槽中，所述電熱絲與所述安裝槽之間具有空腔，所述空腔適于與真空腔室連通，該實(shí)用新型提高了對(duì)柔性基板加熱的均勻性并且縮短了加熱時(shí)間。專利說明一種真空環(huán)境下的流動(dòng)柔性基板的加熱裝置...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。