技術(shù)編號：3327808
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種原位形貌和光學(xué)性能監(jiān)控蒸發(fā)源，它包括真空法蘭、支撐于所述真空法蘭任一側(cè)面上的熱屏蔽組件、嵌設(shè)于所述熱屏蔽組件遠(yuǎn)離真空法蘭一端的加熱組件、內(nèi)置于所述加熱組件內(nèi)的材料容器、安裝于所述材料容器附近用于測量其溫度的溫度測量組件、分別與所述加熱組件和溫度測量組件相電連接且安裝于真空法蘭上的真空電連接器、與所述真空電連接器相連接的控制電源，所述的蒸發(fā)源還包括安裝于熱屏蔽組件內(nèi)的顯微鏡，所述的真空法蘭上設(shè)有與顯微鏡位置相對的觀察窗口。通過在熱屏蔽組件內(nèi)...
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