技術(shù)編號：3334543
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請公開了擴散器。本實用新型通常涉及氣體分配板，所述氣體分配板被設(shè)計以確?；迳系拇篌w上均勻沉積。氣體分配板可補償基板角落區(qū)域以及基板邊緣中的非均勻性。為了補償非均勻性，氣體通道口可被根據(jù)需要不同地定尺寸以使得允許更多的氣體流過某些策略上放置的氣體通道，以增加位于氣體分配板之下的基板區(qū)域中的基板上的沉積。可改變孔口尺寸以形成產(chǎn)生大體上均勻沉積的孔口直徑梯度或直徑混合。專利說明擴散器[0001]本實用新型專利申請是2013年12月3日提交的申請?zhí)枮?013...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。