技術編號：3338523
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型公開了一種能夠降低生產成本同時也能夠避免銅電極被撞歪的氮化硅膜制備裝置。該裝置將爐門固定在托桿上，在需要打開爐門時，只需啟動驅動裝置使滑動塊沿滑竿移動，滑塊在移動的同時帶動托架移動進而帶動托桿移動，由于爐門固定在托桿上，托桿在移動時會打開爐門，由于銅電極設置在爐門的內側中央，電極插孔設置在石英舟朝向爐門的一端，因而，在放置石英舟時，便可以調整石英舟放置的位置使銅電極準確的插入電極插孔內，有效避免了因盲目對準導致銅電極被撞歪的情況發(fā)生，另外，該裝置...
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